利用广角有限差分光束传播法(WA-BPM)对集成光学陀螺(IOG)用掺锗的二氧化硅光波导环形谐振腔进行了优化设计，详细分析了谐振腔的主要性能参数精细度F 与各种损耗及光强耦合系数的关系。在优化设计基础上，在硅基底上利用等离子体增强型化学汽相沉积(PECVD)法与反应离子刻蚀(RIE)制作了掺锗的SiO2 光波导环形谐振腔。经测试，在1 550 nm 波长处，光波导传输损耗为0.02 dB/cm，环形谐振腔内总传输损耗仅为0.1 dB/circuit，可为今后集成光学陀螺的小型化和高灵敏度提供理论参考。
光学陀螺 SiO2 光波导 环形谐振腔 optical gyroscope SiO2 optical waveguide ring resonator
退火质子交换工艺已成为一种制备低损耗铌酸锂光波导的重要技术。但目前对该类光波导传输特性的研究还不多。利用半矢量光束传播法，对硅包层X切退火质子交换铌酸锂条形光波导的频率响应特性进行了数值分析。给出了几种波导结构参数下的计算结果。结果表明，波导传输模式的衰减特性与波长相关。波导的衰减特性，可以通过调整波导表面中心处折射率增量，硅包层厚度，及缓冲层的折射率和厚度来控制。硅包层光波导可以用来制作光频滤波器。
纤维与波导光学 频率响应 光束传播法 质子交换光波导 硅包层 fiber and waveguide optics frequency response beam propagation method protonexchanged optical waveguides silicon clading
Changchun Institute of Optics and Fine Mechanics, Changchun 130022, CHN
